Huici Itarte, Oier2023-07-032023-07-032023https://academica-e.unavarra.es/handle/2454/45708Este trabajo va a definir tanto el diseño del circuito de alimentación de un chip LNA a 250 GHz (compuesto por varios condensadores), como la fabricación en la sala limpia LAMINA (Laboratorio de Micro y Nanofabricación) de la Universidad Pública de Navarra mediante técnicas como la fotolitografía. Además, trataremos de que de tiempo de integrar el amplificador de 250 GHz fabricado en tecnología de SiGe con un tamaño de 250x250 micras en dicho circuito y poder medir su comportamiento. Nuestro trabajo será optimizar de la mejor manera posible el área y tamaño de los condensadores, que deberán tener un valor cercano a 100 pF, para el óptimo funcionamiento del amplificador ya que tienen que estar lo más próximos posible a sus pads de alimentación. Añadiremos una pequeña descripción de la sala limpia utilizada, describiremos las distintas máquinas, instrumentos y fases necesarias para la fabricación de los componentes, y dejaremos constancia de todos los cálculos realizados para ello.application/pdfspaLNA (Low Noise Amplifier)Substrato / ObleaSala limpiaFotorresinaFotolitografíaHot plateSpinnerSputteringE-beamEvaporación por haz de electronesChillerTrabajo Fin de Grado/Gradu Amaierako Lana2023-06-30Acceso abierto / Sarbide irekiainfo:eu-repo/semantics/openAccess