Desarrollo de un equipo de fabricación de recubrimientos delgados asistido por plasma atmosférico

Abstract

En el presente proyecto se estudiarán y desarrollarán los principales elementos de un equipo de fabricación de recubrimientos CVD asistido por plasma atmosférico. Estos recubrimientos son de un especial interés para la fabricacion de recubrimientos para sensores de fibra óptica. Para alcanzar los objetivos en primer lugar se hará una búsqueda bibliográfica de las tecnologías existentes. En segundo lugar se plantearán los desarrollos necesarios para la implementación de los principales componentes de un equipo en el laboratorio de Sensores del Departamento de Ingeniería Eléctrica y Electrónica de la Universidad Pública de Navarra.