Implementación de un magnetrón para evaporación física de materiales en cámara de alto vacío

Abstract

Mediante un magnetrón comercial, generador de microondas a 2.45 GHz, de 800W de potencia se persigue su implementación en una cámara de alto vacío, para evaporación física de metales (PVD). Se diseñará un sistema mecánico para soporte de guía o cavidad de microondas, junto con el magnetrón comercial, con las restricciones que impone la cámara de alto vacío de Perkin-Elmer de la que se dispone, además de las provisiones necesarias para la alimentación eléctrica y refrigeración del magnetrón en su interior. Se modelizará mediante MATLAB la generación de microondas por el magnetrón, su propagación en la guía de ondas o cavidad y su absorción por un crisol de material adecuado, donde se inserta el material a evaporar. La modelización persigue la optimización del proceso, para el magnetrón comercial dado, en función de la geometría de la cavidad y del crisol y de las propiedades físicas de éste