Fuente de alimentación para máquina de Sputtering
Consultable a partir de
2025-07-01
Fecha
2020Autor
Director
Versión
Acceso embargado 5 años / 5 urteko bahitura
Tipo
Trabajo Fin de Grado/Gradu Amaierako Lana
Impacto
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nodoi-noplumx
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Resumen
Diseño y selección de componentes de un convertidor para máquina de Sputtering la
cual se va a alimentar con una tensión DC pulsada asimétrica entre un valor alto negativo y otro
menor positivo. Tanto la frecuencia de la señal cuadrada como los valores de esta variarán en
función del material utilizado. Por lo tanto, se decide diseñar una fuente DC con un valor de
tensión alto e intensidad va ...
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Diseño y selección de componentes de un convertidor para máquina de Sputtering la
cual se va a alimentar con una tensión DC pulsada asimétrica entre un valor alto negativo y otro
menor positivo. Tanto la frecuencia de la señal cuadrada como los valores de esta variarán en
función del material utilizado. Por lo tanto, se decide diseñar una fuente DC con un valor de
tensión alto e intensidad variable para luego realizar la señal pulsada. Se decide diseñar un
Flyback con dos transistores por lo que se explica la topología elegida y el modo de conducción,
así como el cálculo del transformador, componentes, redes snubber y pérdidas. También se
diseña un control analógico para que el convertidor pueda actuar como fuente de tensión o
corriente constante. Para realizar las simulaciones con los componentes reales se ha utilizado
LTSpice y para su control analógico PSIM. [--]
Design and selection of components for a Sputtering Power Supply. It will be supplied
with bipolar asymmetric DC voltage between a high negative, and low positive value. Its
frequency, voltage and current values will depend on the used material. Therefore, it was
decided to design a DC high voltage current controlled source and then, try to pulse it. In order
to achieve this aim, a two transi ...
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Design and selection of components for a Sputtering Power Supply. It will be supplied
with bipolar asymmetric DC voltage between a high negative, and low positive value. Its
frequency, voltage and current values will depend on the used material. Therefore, it was
decided to design a DC high voltage current controlled source and then, try to pulse it. In order
to achieve this aim, a two transistor Flyback converted was designed. Consequently, the
topology, conduction mode, transformer, components, snubber networks and loses will be
explained. Additionally, an analog control loop is designed so that the converted can operate in
voltage or constant current mode. LTSpice and PSIM programs have been used to make the
simulations. [--]
Materias
Half-Bridge Flyback,
Relación de transformación,
Modo de conducción discontinuo,
Entrehierro,
Red Snubber,
Inductancia de magnetización,
Inductancia de fugas,
Control corriente pico,
Optoacoplador,
Fuente de corriente constante,
Carga variable
Titulación
Graduado o Graduada en Ingeniería en Tecnologías Industriales por la Universidad Pública de Navarra /
Industria Teknologietako Ingeniaritzan Graduatua Nafarroako Unibertsitate Publikoan