Implementación de un magnetrón para evaporación física de materiales en cámara de alto vacío

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dc.contributor.advisorTFEOrtega Hertogs, Ricardo
dc.contributor.affiliationEscuela Técnica Superior de Ingenieros Industriales y de Telecomunicaciónes_ES
dc.contributor.affiliationTelekomunikazio eta Industria Ingeniarien Goi Mailako Eskola Teknikoaeu
dc.contributor.authorFernández Resa, Elisa
dc.date.accessioned2017-06-29T15:13:48Z
dc.date.available2017-06-29T15:13:48Z
dc.date.issued2017
dc.date.updated2017-06-28T09:39:29Z
dc.description.abstractMediante un magnetrón comercial, generador de microondas a 2.45 GHz, de 800W de potencia se persigue su implementación en una cámara de alto vacío, para evaporación física de metales (PVD). Se diseñará un sistema mecánico para soporte de guía o cavidad de microondas, junto con el magnetrón comercial, con las restricciones que impone la cámara de alto vacío de Perkin-Elmer de la que se dispone, además de las provisiones necesarias para la alimentación eléctrica y refrigeración del magnetrón en su interior. Se modelizará mediante MATLAB la generación de microondas por el magnetrón, su propagación en la guía de ondas o cavidad y su absorción por un crisol de material adecuado, donde se inserta el material a evaporar. La modelización persigue la optimización del proceso, para el magnetrón comercial dado, en función de la geometría de la cavidad y del crisol y de las propiedades físicas de éstees_ES
dc.description.degreeGraduado o Graduada en Ingeniería en Diseño Mecánico por la Universidad Pública de Navarraes_ES
dc.description.degreeDiseinu Mekanikoko Ingeniaritzan Graduatua Nafarroako Unibertsitate Publikoaneu
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.identifier.urihttps://academica-e.unavarra.es/handle/2454/24563
dc.language.isospaen
dc.rights.accessRightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess
dc.subjectVacíoes_ES
dc.subjectCoevaporaciónes_ES
dc.subjectElectromagnetismoes_ES
dc.subjectOndas electromagnéticases_ES
dc.subjectMicroondases_ES
dc.titleImplementación de un magnetrón para evaporación física de materiales en cámara de alto vacíoes_ES
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/bachelorThesis
dspace.entity.typePublication
relation.isAdvisorTFEOfPublicationd0951897-8c60-4abe-8d2f-74eeb8a1012f
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Fernández Resa, Elisa
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